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桌面级光刻机将数天工序压缩至数分钟—新闻—科学网
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桌面级光刻机将数天工序压缩至数分钟科技日报北京6月2日电记者张佳欣)美国得克萨斯大学奥斯汀分校研究团队开发出一种桌面级极紫外EUV)光刻装置,并结合新型三维纳米打印技术,将原本需要数天完成的加工过程压 ...